Gomma perfluworoetere (FFKM)huwa materjal tas-siġillar eċċellenti. Minħabba l-prestazzjoni superjuri tagħha, sabet użu mifrux fis-sistema tal-manifattura tas-semikondutturi. Wieħed mill-konsumabbli primarji meħtieġa għall-produzzjoni ta 'ċirkwiti integrati huwa ċrieki tas-siġillar tal-perfluoroether.
Il-monomeri ewlenin fil-gomma perfluoroether huma tetrafluoroethylene u perfluoroalkyl vinyl ether, li huma kopolimerizzati b'ammont żgħir ta 'terzi monomeri b'punti ta' vulkanizzazzjoni. Hija gomma li ma fiha ebda bonds CH. Il-kontenut tal-fluworin ta 'l-istruttura molekulari tiegħu, l-istruttura u l-kontenut ta' etere tal-vinil perfluorinat, u l-enerġija tal-bonds u l-kwantità ta 'bonds ta' crosslinking fil-proċess ta 'vulkanizzazzjoni kollha jinfluwenzaw il-prestazzjoni tal-kompost vulkanizzat u t-temperatura tat-transizzjoni tal-ħġieġ. L-istruttura u l-komponenti huma differenti, kif ukoll il-prestazzjoni tagħhom. Dawn li ġejjin huma l-karatteristiċi primarji tal-prestazzjoni tal-gomma perfluoroether:
1) Proprjetajiet fiżiċi: Id-densità hija 1.9-2.0g/cm3, il-proprjetajiet fiżiċi u mekkaniċi huma simili għal fluororubber, u s-sett ta 'kompressjoni f'temperatura għolja huwa superjuri għal fluororubber.
2) Reżistenza kimika: Huwa kimikament reżistenti.
3) Reżistenza għal temperaturi għoljin u baxxi: it-temperatura operattiva hija tipikament 260290 grad, iżda tista 'tintuża b'mod intermittenti f'316 grad. Tg (temperatura ta 'transizzjoni tal-ħġieġ) ta' xi lastiku perfluoroether huwa -19 grad .
4) Reżistenza għall-fwar b'temperatura għolja.
5) Preċipitazzjoni baxxa u rilaxx.
6) Reżistenza għall-plażma.
Għandu indafa għolja u karatteristiċi tal-prodott ta 'preċipitazzjoni baxxa fl-ambjent tal-plażma, u jista' jiflaħ l-impatt tal-plażma għal żmien twil.L-affidabbiltà tal-gaskits tal-elastomer hija kritika fil-manifattura tas-semikondutturi, u l-ispiża tal-waqfien tal-produzzjoni biex tissostitwixxi gaskits hija estremament għolja. Ir-rekwiżiti għall-indafa u l-purità tas-siġilli huma estremament stretti sabiex jiġu evitati riskji potenzjali. Fl-istess ħin, is-siġilli għandhom ikunu jistgħu jaħdmu għal perjodu estiż ta 'żmien taħt il-pressjoni ta' vakwu għoli, gassijiet kimiċi korrużivi, u ambjent ta 'temperatura għolja.
Il-materja prima tal-gomma perfluoroether hija għalja u tintuża komunement fil-manifattura tas-semikondutturi. Huwa reżistenti għall-korrużjoni tal-plażma, korrużjoni tal-gass, korrużjoni ta 'aċidu u alkali, korrużjoni ta' temperatura għolja, rekwiżiti ta 'indafa għolja għal siġilli tal-gomma, jgħin biex iżżomm l-integrità tas-siġill, inaqqas il-ħinijiet ta' manutenzjoni u jtejjeb is-sigurtà, u huwa l-aħjar siġill għall-manifattura tas-semikondutturi Materjal.